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    可測量薄膜折射率、反射率、透射率的光學膜厚儀

    價格:電議

    更新時間: 2019-01-30 14:25:02

    型號:SRT100

    廠商:美國AST

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    一種可以同時測量薄膜反射率、折射率、透射率的光學薄膜測厚儀產品特征: · 易于安裝 · 基于視窗結構的軟件,很容易操作 · 先進的光學設計,以確保能發揮出的系統性能 · 基于陣列設計的探測器系統,以確??焖贉y量 · 的光源設計,有著較好的光源強度穩定性 · 多可測量5層的薄膜厚度和折射率 · 在毫秒的時間內,可以獲得反射率、透射率和吸收光譜等一些參數 · 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量 · 系統配備大量的光學常數數據及數據庫 · 對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者復合模型(EMA)測量分析; · 可升級至MSP(顯微分光光度計)系統,SRM成像系統,多通道分析系統,大點測量。 · 通過模式和特性結構直接測量。 · 提供的各種配件可用于特殊結構的測量,例如通過曲線表面進行縱長測量。 · 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數據管理界面。 系統配置 型號:SRT100 檢測器:雙通道CCD陣列的每個像素2048 光源:氘燈和高功率鹵素燈 光傳輸:光纖 載物臺:黑色鋁合金樣品測量平臺輕松調整高度,100mmx100mm尺寸 通訊:USB 測量類型:薄膜厚度,反射光譜,透射光譜,折射率 軟件:TFProbe 2.3 電腦需要:常規配置 電源:110 - 240伏交流電/ 50 - 60Hz的,1.5A 保修:1年 產品規格 波長范圍:250nm到1100 nm 光斑尺寸:500μm至5mm 樣品尺寸:100mmx100mm 基板尺寸:多可至50毫米厚 測量厚度范圍*:5nm-50μm 測量時間:快2毫秒 精確度:優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較) 重復性誤差*:小于1A產品應用: 半導體制造(PR,Oxide, Nitride..) 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..) 醫學,生物薄膜及材料領域等 油墨,礦物學,顏料,調色劑等 醫藥,中間設備 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 半導體化合物 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜 非晶體,納米材料和結晶硅

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